羅茨-旋片-油擴(kuò)散泵真空機(jī)組
特點(diǎn)與應(yīng)用:
該機(jī)組采用油做工作介質(zhì),對(duì)于怕油污染的真空環(huán)境,其使用受到了一定限制。但采用五氯酚苯基乙醚或五氯酚苯基硅氧烷為工作液,返油就會(huì)得到很大改善。也可以采用水冷擋板,再裝一個(gè)簡(jiǎn)單的液氮阱,可使返油率小于5×10-6mg/cm2因而可廣泛地應(yīng)用于光學(xué)工業(yè)、電子工業(yè)、真空冶金、航天及原子能工業(yè)中。
該機(jī)組的主泵有:(JK系列)直腔式油擴(kuò)散泵和(JKT系列)凸腔式油擴(kuò)散泵兩種類型。典型的應(yīng)用設(shè)備有各種真空單晶爐、真空燒結(jié)爐和真空鍍膜機(jī)等。
該機(jī)組具有結(jié)構(gòu)緊湊,操作靈活可靠,使用方便等特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)、冶金工業(yè)、化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)以及宇航等科研技術(shù)領(lǐng)域??蔀檎婵諢Y(jié)爐,各種真空鍍膜機(jī)以及真空電子束焊機(jī)、各類真空電爐、電子顯微鏡、各種電子射線、加速器、宇宙空間模擬容器所需之高真空環(huán)境均可用JK系列擴(kuò)散泵真空機(jī)組來(lái)實(shí)現(xiàn)。
該機(jī)組可配套提供JZ系列油擴(kuò)散噴射泵真空機(jī)組(又稱油增壓泵機(jī)組)。該機(jī)組抽氣能力大、粗抽時(shí)間短、設(shè)備維護(hù)簡(jiǎn)單、操作方便,是真空應(yīng)用設(shè)備的配套設(shè)備。但該機(jī)組不適于排除對(duì)金屬有腐蝕作用及對(duì)泵油產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)的氣體。現(xiàn)廣泛地被太陽(yáng)能制品企業(yè)所應(yīng)用。